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650℃開啟式管式爐 化學(xué)氣相沉積CVD管式爐 實(shí)驗(yàn)電爐

時(shí)間:2025-11-28 08:44:39 點(diǎn)擊:276

產(chǎn)品名稱:650℃開啟式管式爐 化學(xué)氣相沉積CVD管式爐 實(shí)驗(yàn)電爐

一、概述

650℃開啟式管式爐 化學(xué)氣相沉積CVD管式爐 實(shí)驗(yàn)電爐的爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。

可分為單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。此爐型具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可選配氣氛、抽真空爐型等特點(diǎn)。

二、爐體

①本爐為對開式結(jié)構(gòu),上半層可以打開,以便取出爐膽維修或加快降溫時(shí)間。

②爐膽采用304不銹鋼材質(zhì),一端設(shè)置不銹鋼快卡密封系統(tǒng),末端半圓形密封。

③本爐配有真空泵,利用真空泵把爐內(nèi)空氣抽出后充入保護(hù)氣氛。

④保溫結(jié)構(gòu)采用氧化鋁陶瓷纖維板,防止熱量外溢,陶瓷纖維板可以使電爐升溫更快、保溫效果更顯著。

三、控制系統(tǒng)

①本爐控制系統(tǒng)為一體式,設(shè)置在爐體下方,方便客戶整體移動(dòng)設(shè)備。

②溫度控制采用PID自動(dòng)控制。自動(dòng)升溫調(diào)節(jié),PID自整定,過零觸發(fā),溫度控制采用編程型,可以設(shè)置不同的升溫速率,保溫時(shí)間,并具有燒結(jié)完成自動(dòng)降溫功能。

③執(zhí)行元件可控硅,具有無機(jī)械觸點(diǎn),無噪聲、壽命長,對電網(wǎng)無干擾等優(yōu)點(diǎn),操作集中,觀察直觀。

④控制面板采用直觀可視式結(jié)構(gòu),每區(qū)溫控系統(tǒng)都設(shè)相應(yīng)的報(bào)警裝置,具體有各區(qū)超溫報(bào)警裝置;每區(qū)還設(shè)置了獨(dú)立的空氣開關(guān),方便操作維修。

⑤控制系統(tǒng)能保證在額定條件下正常工作,可每天24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行。

注:650℃開啟式管式爐 化學(xué)氣相沉積CVD管式爐 實(shí)驗(yàn)電爐等其他型號規(guī)格可以根據(jù)用戶實(shí)際需求設(shè)計(jì),價(jià)格僅參考,歡迎咨詢詳談:0510-87195028 18888033558 吳經(jīng)理。